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2024年11月6日
プレスリリース
ネクスジェン・ウェーハ・システムズ社は、6”、8”、12”基板用の統合されたメトロロジーを備えた、多用途で高スループットのウェットエッチングおよびクリーンソリューションであるSERENOを発表しました。
NOV 6, 2024 /// ネクスジェン・ウェーハ・システムズは本日、ウェットエッチングおよびクリーンプロセス用に設計された、多用途で高スループットのマルチチャンバー・プラットフォームであるSERENOの発売を発表した。この新システムは、統合された計測機能を備え、6インチ、8インチ、12インチウェーハに対応し、半導体業界の精密性と効率性のニーズに応えます。
